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D500/D600氣體質(zhì)量流量控制器MFC

上海洪柯自動化儀表公司推出的D500/D600氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller）/氣體質(zhì)量流量計(jì)(Mass Flow Metre)用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、真空、太陽能、分析儀器、光電、制氣、醫(yī)療、電力、化工等各個領(lǐng)域。產(chǎn)品具有精度高、重復(fù)性好、穩(wěn)定性高、性價(jià)比高、工作壓力范圍寬、使用壽命長等特點(diǎn)。

流量規(guī)格（N2）：	(0~5、10、20、30、50、100、200、300、500)SCCM；(0~1、2、3、5、10、20、30、50、100)SLM
準(zhǔn)確度：	±1%F.S.
線性：	±0.5%F.S.
重復(fù)精度：	±0.2%F.S.
響應(yīng)時間：	≤1Sec
工作壓差范圍：	(0.05~0.3)MPa
最大耐壓：	10MPa
工作環(huán)境溫度：	5~65℃
電氣連接：	8 Pin（Mini S Plug）
輸入/輸出信號	Digital：RS232/RS485； Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA
電源：	7~16VDC 1A；或24VDC500mA
標(biāo)準(zhǔn)接頭：	Swagelokφ3,φ6,φ10…；Swagelok 1/8″,1/4″…； VCRφ3,φ6…；VCR 1/8″,1/4″…
外形尺寸	13028121mm
重量約	1.0kg

該公司產(chǎn)品分類：智能橢圓齒輪流量計(jì) 楔形流量計(jì) 科氏力質(zhì)量流量計(jì) 智能電磁流量計(jì) 液壓油專用渦輪流量計(jì) 智能渦輪流量計(jì) 液體超聲波流量計(jì) 特殊玻璃轉(zhuǎn)子流量計(jì) 金屬管浮子流量計(jì) 一體化孔板流量計(jì) 智能渦街流量計(jì) 智能旋進(jìn)漩渦流量計(jì) 便攜式氣體容積式流量計(jì) 電子皂膜流量計(jì) 便攜式氣體質(zhì)量流量計(jì) 低壓氣體質(zhì)量流量計(jì) 氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器熱式氣體質(zhì)量流量計(jì) oval橢圓齒輪流量計(jì) 氣體超聲波流量計(jì)

氣體混合器（線形質(zhì)量流量控制器）

12.00Normal07.8 磅02falsefalsefalseEN-USZH-CNX-NONE

1、雙通道氣體混合器適用于大多數(shù)實(shí)驗(yàn)室需要

2、推薦用于Monosrob和ChemBET

3、數(shù)碼讀數(shù)器便于流動速率的設(shè)置

4、高精度質(zhì)量流量控制器保證了準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。

該公司產(chǎn)品分類：比表面積和孔徑分析儀真密度計(jì) 真密度分析儀真密度測試儀全自動真密度計(jì) 開孔、閉孔率分析儀開孔、閉孔率測定儀真密度分析儀壓實(shí)密度測試儀壓實(shí)密度分析儀壓實(shí)密度儀振實(shí)密度儀振實(shí)密度測試儀堆密度測試儀振實(shí)密度計(jì) 薄膜孔隙率分析儀薄膜孔徑測試儀圖像法zeta電位儀比表面儀比表面積測定儀

ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器

氣體質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品特點(diǎn)：1. 滿量程從0.5(s)ccm到1500(s)lpm2. 響應(yīng)時間10ms3. 量程比優(yōu)于100：14. 精度±0.8％讀數(shù)±0.2％fs（可選±0.4％讀讀數(shù)±0.2％fs）5. lcd大屏幕，動態(tài)數(shù)字同時顯示質(zhì)量流量、量、體積流量、溫度和絕壓6. rs-232或模擬信號輸出7. 安裝位置不敏感8. 現(xiàn)場可選30種校驗(yàn)氣體

差壓原理與熱式原理對照表

alicat差壓原理和熱式原理的對照表

指標(biāo)	alicat層流差壓式原理	典型熱式原理
傳感器	固態(tài)硅基差壓傳感器	rtd或熱電偶
流量范圍	滿量程從0.5sccm到1500slpm	滿量程從3sccm到1000slpm
響應(yīng)時間	10毫秒(控制器100 毫秒)	0.3-3.0秒
顯示屏	標(biāo)準(zhǔn)，內(nèi)置	可選項(xiàng)，外部裝配
預(yù)熱時間	＜1秒	8-30分鐘
累計(jì)流量	可選項(xiàng)，內(nèi)置	可選項(xiàng)，外部裝配
過程數(shù)據(jù)	內(nèi)置顯示屏顯示質(zhì)量流量、體積流量、在線溫度和在線絕對壓力	質(zhì)量流量
輸出選項(xiàng)	標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)置顯示屏，模擬信號（0-5vdc,0-10vdc,1-5vdc或4-20ma）和標(biāo)準(zhǔn)rs232接口；可采用第二路模擬輸出體積流量、溫度或絕對壓力	標(biāo)準(zhǔn)模擬輸出，可選顯示屏，可選數(shù)字輸出
數(shù)字輸出	標(biāo)準(zhǔn)輸出包括質(zhì)量流量、體積流量、在線溫度、在線絕對壓力、測量氣體；可選累計(jì)流量；標(biāo)準(zhǔn)multi-dr-op rs232接口	可選質(zhì)量流量數(shù)字輸出；無multi-dr-op選項(xiàng)
供應(yīng)電源	7-30vdc,35ma的標(biāo)準(zhǔn)ac/dc轉(zhuǎn)換電源；可使用一個標(biāo)準(zhǔn)的9v電池包供電	特殊供應(yīng)電源，正和負(fù)的穩(wěn)定15vdc
過程連接	標(biāo)準(zhǔn)的npt或小巧的氣動配件，可選sae,bspp等接頭	特制swagelok?、vcr等
多種氣體測量性	可從內(nèi)置菜單選擇30種標(biāo)準(zhǔn)氣體	單一氣體，需指定
固有線性	有	無
文件	內(nèi)置顯示屏顯示型號數(shù)、連續(xù)號數(shù)、制造日期、校驗(yàn)技術(shù)員和軟件版本、型號/連續(xù)號，簽條也同樣為標(biāo)準(zhǔn)的	產(chǎn)品的貼紙上

產(chǎn)品簡介：

alicat氣體質(zhì)量流量計(jì)利用兩個已研究透徹的氣體物理屬性：壓力和粘性來測量流量。通過層狀流量單元的差壓測量來計(jì)算流量，這種測量方式具有固有的線性。采用差壓、絕壓和溫度傳感器來測量并補(bǔ)償氣體的壓力、溫度，測量標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)（如1個大氣壓@25℃）下氣體的體積流量�？蓽y量4種參數(shù)：質(zhì)量流量、體積流量、溫度和絕壓，可選累計(jì)流量，并且可以通過動態(tài)顯示屏同時顯示。可選電池使得該款產(chǎn)品方便攜帶，常用于測試和校準(zhǔn)工具。另外提供用戶定制滿足您特殊需求。 alicat氣體體積流量計(jì)采用差壓傳感器來測量當(dāng)前狀態(tài)下的體積流量。由于它沒有內(nèi)置絕壓和溫度傳感器，價(jià)格會便宜一些，是相對于質(zhì)量流量計(jì)的另一種選擇。本地顯示： alicat所有產(chǎn)品均提供本地顯示標(biāo)準(zhǔn)功能（無顯示產(chǎn)品可以用于oem）。質(zhì)量流量控制器和體積流量控制器在主顯示上均提供了不同的過程參數(shù)信息，用戶通過按鍵可以選擇主顯示方式（main mode display）和所測的氣體(30種校驗(yàn)氣體)，調(diào)節(jié)pid參數(shù)，將測量流量清零等。

數(shù)字輸出（rs-232）：所有的alicat產(chǎn)品均具有標(biāo)準(zhǔn)的rs-232輸出。其信號通過8針圓形接頭或6針工業(yè)連接頭傳輸。使用alicat的rs-232輸出或輸入通訊串口無需特別軟件。任何帶有終端程序的設(shè)備，例如windows®操作系統(tǒng)里的“超級終端”，均可以使用我們的alicat產(chǎn)品。rs-232可以實(shí)現(xiàn)本地顯示上的所有操作功能，例如：清零、更換校驗(yàn)氣體、改變pid等。對于質(zhì)量流量控制器，通過rs-232所顯示的過程參數(shù)同其本地顯示上數(shù)據(jù)是一致的�？刂乒δ芤才c每個型號的本地顯示控制模式一致（如右圖所示）。體積流量控制器的控制功能 (loop)只定位在“體積流量(volume)”上。所有的產(chǎn)品均可以根據(jù)用戶的選擇配置為流動模式或輪循模式。模擬輸出：模擬信號通訊同樣是由rs-232接口的8針圓形接頭來提供。默認(rèn)的模擬信號是0-5vdc，可選0-10vdc或4-20ma的輸出信號。alicat質(zhì)量流量控制器提供0-5vdc輸出“質(zhì)量流量”，同時提供一個模擬控制設(shè)定點(diǎn)的針腳。質(zhì)量流量控制器通過“se-lect”（出現(xiàn)在本地控制設(shè)定模式中，如右上圖所示）來控制設(shè)定點(diǎn)方式。可選第二路單獨(dú)模擬輸出“壓力”、“溫度”或“體積流量”。alicat體積流量控制器提供0-5vdc輸出“體積流量”，同時提供一個模擬控制設(shè)定點(diǎn)的針腳。體積流量控制器通過“se-lect”（出現(xiàn)在本地控制設(shè)定模式中，參考右上圖）來控制設(shè)定點(diǎn)方式。應(yīng)用領(lǐng)域: 醫(yī)藥、工業(yè)、過程控制、實(shí)驗(yàn)室、oem、替換熱式質(zhì)量流量計(jì)、泄漏測試選項(xiàng)附件：1. 電氣電纜 2. ac/dc 電源適配器 3. 特殊混合氣體 4. 遠(yuǎn)程數(shù)字顯示（rdd） 5. 用戶化壓降設(shè)置 6. 電池包（使測試儀器便攜） 7. 多種獨(dú)立的輸出

該公司產(chǎn)品分類：壓力真空儀表

氣體質(zhì)量流量控制器、杜瓦瓶、氣瓶柜、通風(fēng)柜、實(shí)驗(yàn)臺西安

陜西歐迅機(jī)電科技有限公司是集科研、生產(chǎn)、貿(mào)易為一體的高新技術(shù)企業(yè)專業(yè)從事大宗氣體管路輸送及相關(guān)產(chǎn)品銷售，業(yè)務(wù)包括管道工程咨詢、設(shè)計(jì)、產(chǎn)品選型及施工安裝為一體的交鑰匙服務(wù)。公司配備GF+切管機(jī)、全自動軌道式管管焊機(jī)、平口/坡口機(jī)、不銹鋼彎管機(jī)、去毛刺機(jī)等一大批高質(zhì)量、高精密的進(jìn)口管道施工設(shè)備，全自動軌道式管管焊機(jī)適用于焊接3mm-76mm外徑的不銹鋼薄壁管，管管自熔自動焊機(jī)采用全位置鎢極氬弧焊單面焊雙面成型的焊接方法，即管子固定，而焊炬（焊機(jī)）沿著管子均勻旋轉(zhuǎn)一周的焊接方法，極大的提高了焊接的安全可靠性。相關(guān)員工憑借10年來的行業(yè)積淀和定期的專業(yè)培訓(xùn)，具有了豐富的實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗(yàn)，期待著為您提供專業(yè)、及時、優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。我們可提供服務(wù)的行業(yè)包括高純分析測試實(shí)驗(yàn)室、半導(dǎo)體、太陽能光伏、生物、制藥、食品、乳品、酒廠、煙草、航空航天、壓力容器、核電、造船等等。我公司提供高溫真空管式爐、高溫氣氛式爐、馬弗爐；掃描電鏡；磁控濺射鍍膜；超音速噴涂設(shè)備、等離子噴涂設(shè)備；真空擴(kuò)散；納微涂層；3D打印設(shè)備；焊燃料電池；X射線能譜儀等大型儀器的集中供氣配氣系統(tǒng)，至目前已為各科研機(jī)構(gòu)配套多個項(xiàng)目，經(jīng)驗(yàn)豐富。我司經(jīng)銷的產(chǎn)品有：鋼瓶固定架、不銹鋼減壓器、黃銅減壓器、不銹鋼氣體匯流排、黃銅匯流排、不銹鋼自動切換面板裝置、不銹鋼背壓閥、BA級不銹鋼管內(nèi)外拋光管、EP級不銹鋼內(nèi)外拋光管、不銹鋼卡套式三通、不銹鋼卡套直通接頭、焊接三通、焊接變徑、氣體質(zhì)量流量控制器、杜瓦瓶、氣瓶柜、通風(fēng)柜、實(shí)驗(yàn)臺等。

該公司產(chǎn)品分類：五金

DMF系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器

DMF系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器可對不同氣體的流量進(jìn)行編程，記錄，分析和控制。控制器采用了直管傳感器和限流元件，這了層流氣體流量的精度與重復(fù)性。DMF系列不受溫度和壓力變化的影響。

控制器可以針對不同的控制功能進(jìn)行編程，包括設(shè)定流量值，累計(jì)，終止累計(jì)，從預(yù)定值累計(jì)，終止和預(yù)定總數(shù)，自動調(diào)零等等。自動調(diào)零特性采用了自動調(diào)零調(diào)整電路，這實(shí)際上消除了零漂和量程漂移。此外，DMF系列控制器帶有兩個干式觸點(diǎn)對泵，閥門和其它設(shè)備進(jìn)行控制，

DMF系列的特點(diǎn)是有一自整定功能，它可以使對一定壓力下的特定氣體的調(diào)節(jié)達(dá)到。在開機(jī)時就進(jìn)行自診斷測試，從控制器工作在工況下�？刂破髦袃Υ媪硕噙_(dá)10種的氣體校準(zhǔn)信息和256種不同氣體的轉(zhuǎn)換因數(shù)。氣體流量高低速限制警報(bào)器經(jīng)由RS-485接口進(jìn)行編程。流量模式有相應(yīng)軟件的支持，它允許執(zhí)行多達(dá)十條指令的自定義程序。

技術(shù)指標(biāo): 介質(zhì)：與材質(zhì)兼容的潔凈氣體材質(zhì)：316不銹鋼，416不銹鋼，Viton O型環(huán) 精度：±1%FS包括線性度59-77℉（15-25℃）和10-60psia（0.7-4bar）；±2%FS 32-122℉（0-50℃），5-150psia（0.3-10bar）重復(fù)性：±0.15%（全量程）響應(yīng)時間：在20%-100%FS以上設(shè)定值的±2%以內(nèi)為0.6-1.0秒輸出：線性0-5直流電壓（2000小負(fù)載阻抗）；0-10直流電壓（4000小負(fù)載阻抗）最大微粒直徑：100微米溫度范圍：41-122℉（5-50℃）電源：±15直流電壓；最大功率13.5瓦工藝連接：在流速≦50L/m時，采用1/4"壓緊接頭；流速≧60L/m時則用3/8" 壓力范圍：500psig（34.5bar）

DFC美國Aalborg數(shù)字式質(zhì)量流量控制器

設(shè)計(jì)特點(diǎn) －數(shù)字式和模式方式同時提供－可編程序的控制流量－流量控制范圍從0 開始到10 sccm 直到0到100 slpm－最大壓力500 psig (34.5 Bar)－多點(diǎn)控制可到256 個單位(為RS-485 選擇)－存放定標(biāo)數(shù)據(jù)為10 不同氣體－可編程序的12 個數(shù)字計(jì)算器表明總氣體容量－數(shù)字式(RS-232 或RS-485) 并且同時提供模擬輸出－內(nèi)部轉(zhuǎn)換最多32種氣體－自動零調(diào)整－自診斷測試

主要技術(shù)參數(shù)精度：1％FS

重復(fù)性: ±0.15% 全量程；

響應(yīng)時間: 0.6 to 1.0 秒

溫度系數(shù): 0.05% /FC or better.

壓力系數(shù): 0.01% 全量程/ 0.07 bar (1 psi) 或更好；

可選氣壓:1.73 bars (25 psig).

最大氣壓: 70 bars (1000 psia).

最大瞬間壓力: 13.6 bars (200 psia).

氣體和環(huán)境溫度: 5C to 50C (41F to 122F).

信號輸出: Linear 0-5 Vdc (3000 歐姆低阻抗負(fù)載);0-10Vdc (6000 歐姆低阻抗); 4-20 mA 供選 (500 歐姆高環(huán)阻).最大噪音 20mV 峰對峰.

輸入電源: 最大15Vdc, 450 mA;

材質(zhì)：316不銹鋼，416不銹鋼, Viton7 O形圈；Neoprene7或 Kalrez7 O形圈可供選擇.

該公司產(chǎn)品分類：掃描探針顯微鏡SPM（原子力顯微鏡AFM、掃描隧道顯微鏡STM）光源/氙燈光源/汞燈光源激光拉曼光譜(RAMAN) 教學(xué)儀器粉塵測定儀/粉塵儀粒子計(jì)數(shù)器顆粒物采樣器納米壓痕儀、劃痕儀紫外、紫外分光光度計(jì)、紫外可見分光光度計(jì)、UV 其它電子/半導(dǎo)體太陽光模擬器激光誘導(dǎo)擊穿光譜儀（LIBS）光量子計(jì)/光合有效輻射計(jì) 光學(xué)平臺對色燈箱、標(biāo)準(zhǔn)光源箱光度儀、霧度儀、光澤度儀 PM2.5/PM10/PM1/TSP大氣顆粒物監(jiān)測儀 PM2.5采樣器激光雷達(dá)

S48 300/HMT北京流量計(jì)廠家，氣體流量計(jì)價(jià)格，質(zhì)量流量計(jì)型號，氣體質(zhì)量流量控制器

技術(shù)指標(biāo)

4.1 S48 300/HMT MFC技術(shù)指標(biāo)

表1 S48 300/HMT數(shù)字流量控制器技術(shù)指標(biāo)

編號	項(xiàng)目	S48 300/HMT
1	流量規(guī)格	（10,20,30,50,100,200,300,500）mL/min （1,2,3,5,10,20,30,50）L/min
2	調(diào)節(jié)閥類型	電磁調(diào)節(jié)閥
3	調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài)	常閉
4	安裝角度	任意
5	流量控制范圍	2%-100%F.S.
6	流量測量范圍	0-100%F.S.
7	響應(yīng)時間	≤ 1 sec
8	工作環(huán)境溫度	5-50℃
9	精度保證溫度	15-35℃
10	精度	±1.0% S.P.（≥30% F.S.）；±0.30% F.S.（＜30% F.S.）
11	線性精度	±0.5%F.S.
12	重復(fù)性	±0.2%F.S.
13	工作壓差	-5L/min （50-300）kPa（D） 10L/min-30L/min （100-300）kPa（D） 50L/min （150-300）kPa（D）
14	耐壓	3MPa（G）
15	泄漏率	＜1×10-8Pa·m3/s（He）
16	接觸氣體材料	316L，Viton® 氟橡膠，PTFE
17	管路接頭	Swagelok:Φ6mm,Φ10mm，Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″
18	供電電源	±15V（±5%），＋15V,150mA；－15V,200mA
19	設(shè)定信號	數(shù)字：RS485/RS232 模擬：0 - +5V，輸入阻抗＞10kΩ
20	流量輸出信號	數(shù)字：RS485/RS232 模擬：0 - +5V，負(fù)載能力≤3mA
21	通訊接口	數(shù)字RS232/RS485，波特率4800/9600/19200bps， Modbus RTU 協(xié)議從機(jī)，設(shè)備號可選范圍0-15
22	重量（kg）	0.9

S48 300/HMT質(zhì)量流量控制器的特點(diǎn)

　　　☆ S48 300/HMT型質(zhì)量流量控制器是在引進(jìn)HORIBA STEC技術(shù)基礎(chǔ)上，結(jié)合國內(nèi)需要而研制的一種數(shù)字式質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品，采用當(dāng)今先進(jìn)的32位ARM系列處理器做數(shù)字控制。具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過沖小等特點(diǎn)。

　　　☆ RS232/485串口， Modbus（RTU）開放協(xié)議。協(xié)議簡單可靠，兼容性強(qiáng)，易于組網(wǎng)。配合上位機(jī)，可進(jìn)行各種復(fù)雜的計(jì)量、控制操作及組態(tài)。

　　　☆耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。氣阻較小，工作壓力范圍寬。

　　　☆主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強(qiáng)。

　　　☆可任意角度安裝。

　　　☆兼容數(shù)字和模擬控制及顯示，使用方便。易于與電氣或自動控制系統(tǒng)配合。

配合MT-50或51系列流量顯示儀，可對氣流的瞬時流量進(jìn)行精確測量和計(jì)量。

該公司產(chǎn)品分類：氣體流量計(jì) 顯示儀電磁閥流量計(jì)/流量計(jì)控制器

DSN系列國產(chǎn)熱式氣體質(zhì)量流量控制器

用途和特點(diǎn)

氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller ）用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和

控制。它在多個領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要而廣泛的應(yīng)用。

東莞德欣于對產(chǎn)品性能和生產(chǎn)工藝的不斷改進(jìn)，DSN質(zhì)量流量控制器具有精度高、重

復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動、穩(wěn)定、工作壓力范圍寬等（可以使用在高壓及真空系統(tǒng)）

特點(diǎn)。操作使用方便，可任意位置安裝，配合DSN2000流量顯示儀或其他流量控制器顯示儀

使用，也可直接同計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)RS-232 連接，非常方便的實(shí)現(xiàn)自動控制。它也可以作為氣體質(zhì)

量流量計(jì)使用。配合DSN2000流量顯示儀對氣體的瞬時流量和累積流量進(jìn)行精確測量和控制。

主要技術(shù)指標(biāo):

型號DSN

序號	項(xiàng)目	內(nèi)容
		DSN—①	DSN—②
１	流量范圍	0～5，10，20，30，50，100，200，300，500 SCCM； 0～1，2，3，5，10 ,20,30SLM;
2	度（%FS）	±2%FS	±1%FS
3	線性(%FS)	±(0.5～2)%F.S	±(0.5～1)%FS
4	重復(fù)精度(%FS)	±0.2%FS
5	響應(yīng)時間(sec)	電特性：＜10；氣特性：＜1～4
6	工作壓差范圍（MPa）	0.05～0.3
7	耐壓（MPa）	3，10
8	工作環(huán)境溫度（℃）	5～45
9	輸入輸出信號電壓	0～+5.00V
10	電源	+15V 500mA，－15V 500mA（輸入阻抗大于100K，輸出電流不大于3mA）
11	外形尺寸（mm）	130＊28＊121
12	重量約（kg）	1.0

Compact氣體質(zhì)量流量控制器熱質(zhì)式

應(yīng)用范圍：分析儀器/表面涂裝處理/半導(dǎo)體制造熱處理/雷射焊接/燃燒室噴嘴/燃料電池/發(fā)酵槽/機(jī)械生產(chǎn)制造/氣體生產(chǎn)設(shè)備/氣壓縮設(shè)備/實(shí)驗(yàn)室設(shè)備

技術(shù)指標(biāo)：

顯示方式：4-Digital LCD 液晶顯示；長條圖形顯示

顯示單位：可測氣體,空氣,氧氣,氮?dú)?氦氣,氬氣,二氧化碳,甲烷,丙烷,麻醉性氣體笑氣,六氟化硫,丙烯,一氧化碳,丁烯…..等

度：+/-1% FS

滿刻度重設(shè)比例：1：50

反應(yīng)時間：500ms 精度優(yōu)于 99%

電源供應(yīng)：鋰電池Type AA,電池壽命約2 年選配：外接VDC24V,+/-10%

操作壓力：10bar high on request

操作溫度：0 - 50℃

材質(zhì)：鋁合金材質(zhì)選配：不繡鋼拋光材質(zhì)/Flow element PBT 工程塑料

軸封材質(zhì)：Viton 選配：EPDM

IP 等級：IP50 / Panel mount IP65

符合德國EMC 安全規(guī)范：EN50081,EN50082

測量范圍：

Code	Range air	connection	Code	Range air	connection
A4	4-200ml/min	G1/4”	C4	0.4-20l/min	G1/4”
A5	10-500ml/min	G1/4”	C5	1-50l/min	G1/4”
B4	40-2000ml/min	G1/4”	D3	2-100l/min	G1/2”
B5	100-5000ml/min	G1/4”	D4	4-200l/min	G1/2”

MCALICAT氣體質(zhì)量流量控制器

一、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器測量原理圖

二、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)

1、50毫內(nèi)完成穩(wěn)定的控制響應(yīng)

準(zhǔn)確、穩(wěn)定的流量取決于控制響應(yīng)速度，艾里卡特®質(zhì)量流量控制器50毫內(nèi)即可到達(dá)新的設(shè)定值�？焖佟⒖芍貜�(fù)、穩(wěn)定！

2、操作便捷

? 50-100毫控制響應(yīng)

? 允許用戶自行調(diào)節(jié)PID以獲得良好的速度和穩(wěn)定性

? 定制化閥門孔徑以滿量程流量的穩(wěn)定性

? 同一臺設(shè)備控制質(zhì)量流量、體積流量或絕對壓力

? 瞬間啟動、無需預(yù)熱：1內(nèi)即可開始流量控制

三、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品系列

MC 標(biāo)準(zhǔn)系列

全球控制響應(yīng)快、穩(wěn)定的流量控制器。

MCR 大流量系列

準(zhǔn)確控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特®R系列閥門為全球無摩擦閥門，可精密控制大流量的氣體流量，特殊的孔狀模式允許我們根據(jù)您的應(yīng)用需求量身定制閥門。

MCW / MCRW 低壓損系列

限度減小壓損對系統(tǒng)的影響，滿量程壓損低僅為4mbar(0.06 psid)；艾里卡特®Whisper低壓損系列質(zhì)量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力MCS / MCRS 耐腐蝕系列

所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)。點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于耐腐蝕系列

MCE / MCV 半導(dǎo)體行業(yè)用系列

可快速、簡易地替換老化陳舊的熱式流量控制器，可任意定制引腳功能使之與您的控制系統(tǒng)兼容，封閉式閥門設(shè)計(jì)更是符合半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。MCV系列另增加了后置的氣動截至閥，門用于真空應(yīng)用�？啥ㄖ葡鄳�(yīng)的防腐蝕系列MCES / MCVS。大量程：0-20 slpm. 點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于半導(dǎo)體行業(yè)用系列

MCD / MCRD 雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列

雙向質(zhì)量流量控制器，可正向或反向控制氣體流量�？啥ㄖ频蛪簱p系列MCDW系列及防蝕型MCDS系列。點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列

四、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器性能參數(shù)

指標(biāo)	質(zhì)量流量控制器
量程	0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....1500SLPM，2000SLPM，3000SLPM
精度	±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程）
重復(fù)性	±0.2%
量程比	200:1
響應(yīng)時間	100ms
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(STP)	25℃&14.696PSIA （101.325kPa）
溫度范圍	-10～50
零點(diǎn)漂移	0.02％
量程漂移	0.02％
濕度范圍	0-100%
測量流量范圍	128％（過流率）
大耐壓	145psi
輸出信號（數(shù)字）	質(zhì)量流量、體積流量、絕對壓力和溫度
數(shù)字信號可選	RS485，Modbus，Profibus
輸出信號（模擬）	質(zhì)量流量、體積流量、絕對壓力和溫度
模擬信號可選	0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA
電氣連接	8針/9針/15針（根據(jù)不同類型流量計(jì)而定）
供電電壓	7-30VDC（4-20mA輸出時為：15-30VDC）
供電電流	0.035A（4-20mA輸出時為：0.055A）

該公司產(chǎn)品分類：溫度儀表 ALICAT液體流量計(jì) 渦輪流量計(jì) 電磁流量計(jì) 液體質(zhì)量流量控制器液體質(zhì)量流量計(jì) 氣體質(zhì)量流量控制器氣體質(zhì)量流量計(jì) 管閥件分析測試儀表壓力儀表流量儀表