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M3100氣體質(zhì)量流量控制器M3100

1. 用途及特點(diǎn)

氣體質(zhì)量流量控制器( Mass Flow Controller 簡(jiǎn)稱MFC )能夠在較大的量程

范圍內(nèi)對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。

氣體質(zhì)量流量計(jì)( Mass Flow Meter 簡(jiǎn)稱MFM )能夠在較大的量程范圍內(nèi)

對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量。

它們?cè)谑I(yè)、半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、醫(yī)藥、環(huán)保和

真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的場(chǎng)合包括：電子工藝

設(shè)備，如、氧化、CVD、擴(kuò)散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、；以及微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、鍍膜設(shè)備、光纖熔練、氣相色譜儀及其它分析儀器。

Line-Tech Ltd.于對(duì)產(chǎn)品的性能和生產(chǎn)工藝的不斷改進(jìn)。對(duì)M 系列氣

體質(zhì)量流量控制器（MFC）和氣體質(zhì)量流量計(jì)（MFM）進(jìn)行了的技術(shù)改造，

在功能和性能上有了進(jìn)一步的提高。

M 系列氣體質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)具有精度高、響應(yīng)速度快、重

復(fù)性好、穩(wěn)定性佳、軟啟動(dòng)、工作壓力范圍寬等特點(diǎn)(可以在高壓或真空條件下

工作)，其操作使用方便，可任意位置安裝調(diào)試，并更好的與計(jì)算機(jī)連接實(shí)現(xiàn)自

動(dòng)控制。

M3100V 和M3100A 型氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）性能指標(biāo)

1000sccm 等於 1 liter 30slpm = 30 liters（公升）

sccm : s = standard cc = cm 的3 次方 m = minute（分鐘）

slpm : s = standard l = liter p = per m = minute（分鐘）

項(xiàng) 目 M31000V 和M3100A

1 流量規(guī)格（N2）: 25slpm ～ 120slpm

（本公司可以為客戶在25slpm ～ 120slpm范圍內(nèi)任何區(qū)域標(biāo)定）

2 度 :±1% F.S （Full Scale）

3 重復(fù)精度 :±0.25 % F.S （Full Scale）

4 響應(yīng)時(shí)間 :≤3sec ( 特別要求：:≤1sec )

5 耐壓 : 95 bar

6 工作環(huán)境溫度 :5 ℃ ~ 65 ℃

7 輸入輸出信號(hào): 0 ~ 5Vdc 4 ~ 20mA

8 電源 :±15Vdc, 350mA

氣路接頭形式

可提供5 種尺寸接管外徑的接頭類型：

a.. 1/8＂ Compress

b. 1/4＂ Compress

c. 3/8＂ Compress

d. 1/4＂ VCR

e. 1/4＂ VCO

13917099687 范先生

CMQ日本山武數(shù)字氣體質(zhì)量流量控制器CMQ

型號(hào) 日本山武（YAMATAKE）日本山武數(shù)字氣體質(zhì)量流量控制器CMQ 數(shù)量大量庫存產(chǎn)品描述 CMQ9200/9500/0002/0005/0020/0050/0050JK/0200JK/0500JK等CMQ系列是高性能型數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器，使用山武公司獨(dú)有的感熱式微流量傳感器和高精度的比例閥，具有響應(yīng)快、精度高、控制范圍寬等特點(diǎn)，能滿足多種工業(yè)控制要求。基本系列 CMQ9200 CMQ9500 CMQ0002 CMQ0005 CMQ0020 CMQ0050 CMQ0050J/K CMQ0200J/K CMQ0500J/K流量范圍 200mL/min 0.500L/min 2.00L/min 5.00L/min 20.0L/min 50.0L/min 50.0L/min 200L/min 500L/min適用氣體氮?dú)�、空氣、氧氣、氬氣、二氧化碳、城市煤�?3A（LNG）、甲烷100%、丙烷100%、丁烷100% 控制范圍 1--100%FS 響應(yīng)速度 0.5秒達(dá)到設(shè)定值±2%FS 1秒達(dá)到設(shè)定值±2%FS 閥門輸出更新周期 10ms 精度 ±1%FS ±2%FS ±1%FS ±2%FS ±1%FS ±1%FS ±1%FS ±1%FS ±1%FS標(biāo)準(zhǔn)差壓 98KPa 9.8KPa 98KPa 9.8KPa 98KPa 196KPa 19.6KPa 196KPa 196KPa操作差壓范圍 0.98--294KPa 0.49--49KPa 0.98--294KPa 0.49--49KPa 0.98--294KPa 0.98--294KPa 0.98--98KPa 0.98--294KPa 0.98--294KPa耐壓 980KPa 設(shè)定方法 1、鍵盤操作 2、外部設(shè)定電壓輸入 3、通訊設(shè)定輸入電壓范圍 0--5VDC / 1--5VDC （通過組態(tài)設(shè)定和外部開關(guān)輸入選擇）輸出電壓范圍 0--5VDC / 1--5VDC （通過組態(tài)設(shè)定和外部開關(guān)輸入選擇）輸出點(diǎn)數(shù) 報(bào)警輸出：1點(diǎn) ；事件輸出：2點(diǎn) 外部開關(guān)輸入外部3位開關(guān)輸入（OPEN/GND/5V）：1點(diǎn) ；外部節(jié)電輸入（2位開關(guān)）：3點(diǎn) 安裝方式水平安裝，顯示部不可向下電源 DC15--24V 消耗電流：300mA max DC24V / 400mA max DC24V/500mA重量約1.2Kg 約3.5Kg

D500/D600氣體質(zhì)量流量控制器MFC

上海洪柯自動(dòng)化儀表公司推出的D500/D600氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller）/氣體質(zhì)量流量計(jì)(Mass Flow Metre)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、真空、太陽能、分析儀器、光電、制氣、醫(yī)療、電力、化工等各個(gè)領(lǐng)域。產(chǎn)品具有精度高、重復(fù)性好、穩(wěn)定性高、性價(jià)比高、工作壓力范圍寬、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。

流量規(guī)格（N2）：	(0~5、10、20、30、50、100、200、300、500)SCCM；(0~1、2、3、5、10、20、30、50、100)SLM
準(zhǔn)確度：	±1%F.S.
線性：	±0.5%F.S.
重復(fù)精度：	±0.2%F.S.
響應(yīng)時(shí)間：	≤1Sec
工作壓差范圍：	(0.05~0.3)MPa
最大耐壓：	10MPa
工作環(huán)境溫度：	5~65℃
電氣連接：	8 Pin（Mini S Plug）
輸入/輸出信號(hào)	Digital：RS232/RS485； Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA
電源：	7~16VDC 1A；或24VDC500mA
標(biāo)準(zhǔn)接頭：	Swagelokφ3,φ6,φ10…；Swagelok 1/8″,1/4″…； VCRφ3,φ6…；VCR 1/8″,1/4″…
外形尺寸	13028121mm
重量約	1.0kg

該公司產(chǎn)品分類：智能橢圓齒輪流量計(jì) 楔形流量計(jì) 科氏力質(zhì)量流量計(jì) 智能電磁流量計(jì) 液壓油專用渦輪流量計(jì) 智能渦輪流量計(jì) 液體超聲波流量計(jì) 特殊玻璃轉(zhuǎn)子流量計(jì) 金屬管浮子流量計(jì) 一體化孔板流量計(jì) 智能渦街流量計(jì) 智能旋進(jìn)漩渦流量計(jì) 便攜式氣體容積式流量計(jì) 電子皂膜流量計(jì) 便攜式氣體質(zhì)量流量計(jì) 低壓氣體質(zhì)量流量計(jì) 氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器熱式氣體質(zhì)量流量計(jì) oval橢圓齒輪流量計(jì) 氣體超聲波流量計(jì)

ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器

氣體質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品特點(diǎn)：1. 滿量程從0.5(s)ccm到1500(s)lpm2. 響應(yīng)時(shí)間10ms3. 量程比優(yōu)于100：14. 精度±0.8％讀數(shù)±0.2％fs（可選±0.4％讀讀數(shù)±0.2％fs）5. lcd大屏幕，動(dòng)態(tài)數(shù)字同時(shí)顯示質(zhì)量流量、量、體積流量、溫度和絕壓6. rs-232或模擬信號(hào)輸出7. 安裝位置不敏感8. 現(xiàn)場(chǎng)可選30種校驗(yàn)氣體

差壓原理與熱式原理對(duì)照表

alicat差壓原理和熱式原理的對(duì)照表

指標(biāo)	alicat層流差壓式原理	典型熱式原理
傳感器	固態(tài)硅基差壓傳感器	rtd或熱電偶
流量范圍	滿量程從0.5sccm到1500slpm	滿量程從3sccm到1000slpm
響應(yīng)時(shí)間	10毫秒(控制器100 毫秒)	0.3-3.0秒
顯示屏	標(biāo)準(zhǔn)，內(nèi)置	可選項(xiàng)，外部裝配
預(yù)熱時(shí)間	＜1秒	8-30分鐘
累計(jì)流量	可選項(xiàng)，內(nèi)置	可選項(xiàng)，外部裝配
過程數(shù)據(jù)	內(nèi)置顯示屏顯示質(zhì)量流量、體積流量、在線溫度和在線絕對(duì)壓力	質(zhì)量流量
輸出選項(xiàng)	標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)置顯示屏，模擬信號(hào)（0-5vdc,0-10vdc,1-5vdc或4-20ma）和標(biāo)準(zhǔn)rs232接口；可采用第二路模擬輸出體積流量、溫度或絕對(duì)壓力	標(biāo)準(zhǔn)模擬輸出，可選顯示屏，可選數(shù)字輸出
數(shù)字輸出	標(biāo)準(zhǔn)輸出包括質(zhì)量流量、體積流量、在線溫度、在線絕對(duì)壓力、測(cè)量氣體；可選累計(jì)流量；標(biāo)準(zhǔn)multi-dr-op rs232接口	可選質(zhì)量流量數(shù)字輸出；無multi-dr-op選項(xiàng)
供應(yīng)電源	7-30vdc,35ma的標(biāo)準(zhǔn)ac/dc轉(zhuǎn)換電源；可使用一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的9v電池包供電	特殊供應(yīng)電源，正和負(fù)的穩(wěn)定15vdc
過程連接	標(biāo)準(zhǔn)的npt或小巧的氣動(dòng)配件，可選sae,bspp等接頭	特制swagelok?、vcr等
多種氣體測(cè)量性	可從內(nèi)置菜單選擇30種標(biāo)準(zhǔn)氣體	單一氣體，需指定
固有線性	有	無
文件	內(nèi)置顯示屏顯示型號(hào)數(shù)、連續(xù)號(hào)數(shù)、制造日期、校驗(yàn)技術(shù)員和軟件版本、型號(hào)/連續(xù)號(hào)，簽條也同樣為標(biāo)準(zhǔn)的	產(chǎn)品的貼紙上

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

alicat氣體質(zhì)量流量計(jì)利用兩個(gè)已研究透徹的氣體物理屬性：壓力和粘性來測(cè)量流量。通過層狀流量單元的差壓測(cè)量來計(jì)算流量，這種測(cè)量方式具有固有的線性。采用差壓、絕壓和溫度傳感器來測(cè)量并補(bǔ)償氣體的壓力、溫度，測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)（如1個(gè)大氣壓@25℃）下氣體的體積流量�？蓽y(cè)量4種參數(shù)：質(zhì)量流量、體積流量、溫度和絕壓，可選累計(jì)流量，并且可以通過動(dòng)態(tài)顯示屏同時(shí)顯示�？蛇x電池使得該款產(chǎn)品方便攜帶，常用于測(cè)試和校準(zhǔn)工具。另外提供用戶定制滿足您特殊需求。 alicat氣體體積流量計(jì)采用差壓傳感器來測(cè)量當(dāng)前狀態(tài)下的體積流量。由于它沒有內(nèi)置絕壓和溫度傳感器，價(jià)格會(huì)便宜一些，是相對(duì)于質(zhì)量流量計(jì)的另一種選擇。本地顯示： alicat所有產(chǎn)品均提供本地顯示標(biāo)準(zhǔn)功能（無顯示產(chǎn)品可以用于oem）。質(zhì)量流量控制器和體積流量控制器在主顯示上均提供了不同的過程參數(shù)信息，用戶通過按鍵可以選擇主顯示方式（main mode display）和所測(cè)的氣體(30種校驗(yàn)氣體)，調(diào)節(jié)pid參數(shù)，將測(cè)量流量清零等。

數(shù)字輸出（rs-232）：所有的alicat產(chǎn)品均具有標(biāo)準(zhǔn)的rs-232輸出。其信號(hào)通過8針圓形接頭或6針工業(yè)連接頭傳輸。使用alicat的rs-232輸出或輸入通訊串口無需特別軟件。任何帶有終端程序的設(shè)備，例如windows®操作系統(tǒng)里的“超級(jí)終端”，均可以使用我們的alicat產(chǎn)品。rs-232可以實(shí)現(xiàn)本地顯示上的所有操作功能，例如：清零、更換校驗(yàn)氣體、改變pid等。對(duì)于質(zhì)量流量控制器，通過rs-232所顯示的過程參數(shù)同其本地顯示上數(shù)據(jù)是一致的。控制功能也與每個(gè)型號(hào)的本地顯示控制模式一致（如右圖所示）。體積流量控制器的控制功能 (loop)只定位在“體積流量(volume)”上。所有的產(chǎn)品均可以根據(jù)用戶的選擇配置為流動(dòng)模式或輪循模式。模擬輸出：模擬信號(hào)通訊同樣是由rs-232接口的8針圓形接頭來提供。默認(rèn)的模擬信號(hào)是0-5vdc，可選0-10vdc或4-20ma的輸出信號(hào)。alicat質(zhì)量流量控制器提供0-5vdc輸出“質(zhì)量流量”，同時(shí)提供一個(gè)模擬控制設(shè)定點(diǎn)的針腳。質(zhì)量流量控制器通過“se-lect”（出現(xiàn)在本地控制設(shè)定模式中，如右上圖所示）來控制設(shè)定點(diǎn)方式�？蛇x第二路單獨(dú)模擬輸出“壓力”、“溫度”或“體積流量”。alicat體積流量控制器提供0-5vdc輸出“體積流量”，同時(shí)提供一個(gè)模擬控制設(shè)定點(diǎn)的針腳。體積流量控制器通過“se-lect”（出現(xiàn)在本地控制設(shè)定模式中，參考右上圖）來控制設(shè)定點(diǎn)方式。應(yīng)用領(lǐng)域: 醫(yī)藥、工業(yè)、過程控制、實(shí)驗(yàn)室、oem、替換熱式質(zhì)量流量計(jì)、泄漏測(cè)試選項(xiàng)附件：1. 電氣電纜 2. ac/dc 電源適配器 3. 特殊混合氣體 4. 遠(yuǎn)程數(shù)字顯示（rdd） 5. 用戶化壓降設(shè)置 6. 電池包（使測(cè)試儀器便攜） 7. 多種獨(dú)立的輸出

該公司產(chǎn)品分類：壓力真空儀表

氣體質(zhì)量流量控制器、杜瓦瓶、氣瓶柜、通風(fēng)柜、實(shí)驗(yàn)臺(tái) 西安

陜西歐迅機(jī)電科技有限公司是集科研、生產(chǎn)、貿(mào)易為一體的高新技術(shù)企業(yè)專業(yè)從事大宗氣體管路輸送及相關(guān)產(chǎn)品銷售，業(yè)務(wù)包括管道工程咨詢、設(shè)計(jì)、產(chǎn)品選型及施工安裝為一體的交鑰匙服務(wù)。公司配備GF+切管機(jī)、全自動(dòng)軌道式管管焊機(jī)、平口/坡口機(jī)、不銹鋼彎管機(jī)、去毛刺機(jī)等一大批高質(zhì)量、高精密的進(jìn)口管道施工設(shè)備，全自動(dòng)軌道式管管焊機(jī)適用于焊接3mm-76mm外徑的不銹鋼薄壁管，管管自熔自動(dòng)焊機(jī)采用全位置鎢極氬弧焊單面焊雙面成型的焊接方法，即管子固定，而焊炬（焊機(jī)）沿著管子均勻旋轉(zhuǎn)一周的焊接方法，極大的提高了焊接的安全可靠性。相關(guān)員工憑借10年來的行業(yè)積淀和定期的專業(yè)培訓(xùn)，具有了豐富的實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗(yàn)，期待著為您提供專業(yè)、及時(shí)、優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。我們可提供服務(wù)的行業(yè)包括高純分析測(cè)試實(shí)驗(yàn)室、半導(dǎo)體、太陽能光伏、生物、制藥、食品、乳品、酒廠、煙草、航空航天、壓力容器、核電、造船等等。我公司提供高溫真空管式爐、高溫氣氛式爐、馬弗爐；掃描電鏡；磁控濺射鍍膜；超音速噴涂設(shè)備、等離子噴涂設(shè)備；真空擴(kuò)散；納微涂層；3D打印設(shè)備；焊燃料電池；X射線能譜儀等大型儀器的集中供氣配氣系統(tǒng)，至目前已為各科研機(jī)構(gòu)配套多個(gè)項(xiàng)目，經(jīng)驗(yàn)豐富。我司經(jīng)銷的產(chǎn)品有：鋼瓶固定架、不銹鋼減壓器、黃銅減壓器、不銹鋼氣體匯流排、黃銅匯流排、不銹鋼自動(dòng)切換面板裝置、不銹鋼背壓閥、BA級(jí)不銹鋼管內(nèi)外拋光管、EP級(jí)不銹鋼內(nèi)外拋光管、不銹鋼卡套式三通、不銹鋼卡套直通接頭、焊接三通、焊接變徑、氣體質(zhì)量流量控制器、杜瓦瓶、氣瓶柜、通風(fēng)柜、實(shí)驗(yàn)臺(tái)等。

該公司產(chǎn)品分類：五金

S48 300/HMT北京流量計(jì)廠家，氣體流量計(jì)價(jià)格，質(zhì)量流量計(jì)型號(hào)，氣體質(zhì)量流量控制器

技術(shù)指標(biāo)

4.1 S48 300/HMT MFC技術(shù)指標(biāo)

表1 S48 300/HMT數(shù)字流量控制器技術(shù)指標(biāo)

編號(hào)	項(xiàng)目	S48 300/HMT
1	流量規(guī)格	（10,20,30,50,100,200,300,500）mL/min （1,2,3,5,10,20,30,50）L/min
2	調(diào)節(jié)閥類型	電磁調(diào)節(jié)閥
3	調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài)	常閉
4	安裝角度	任意
5	流量控制范圍	2%-100%F.S.
6	流量測(cè)量范圍	0-100%F.S.
7	響應(yīng)時(shí)間	≤ 1 sec
8	工作環(huán)境溫度	5-50℃
9	精度保證溫度	15-35℃
10	精度	±1.0% S.P.（≥30% F.S.）；±0.30% F.S.（＜30% F.S.）
11	線性精度	±0.5%F.S.
12	重復(fù)性	±0.2%F.S.
13	工作壓差	-5L/min （50-300）kPa（D） 10L/min-30L/min （100-300）kPa（D） 50L/min （150-300）kPa（D）
14	耐壓	3MPa（G）
15	泄漏率	＜1×10-8Pa·m3/s（He）
16	接觸氣體材料	316L，Viton® 氟橡膠，PTFE
17	管路接頭	Swagelok:Φ6mm,Φ10mm，Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″
18	供電電源	±15V（±5%），＋15V,150mA；－15V,200mA
19	設(shè)定信號(hào)	數(shù)字：RS485/RS232 模擬：0 - +5V，輸入阻抗＞10kΩ
20	流量輸出信號(hào)	數(shù)字：RS485/RS232 模擬：0 - +5V，負(fù)載能力≤3mA
21	通訊接口	數(shù)字RS232/RS485，波特率4800/9600/19200bps， Modbus RTU 協(xié)議從機(jī)，設(shè)備號(hào)可選范圍0-15
22	重量（kg）	0.9

S48 300/HMT質(zhì)量流量控制器的特點(diǎn)

　　　☆ S48 300/HMT型質(zhì)量流量控制器是在引進(jìn)HORIBA STEC技術(shù)基礎(chǔ)上，結(jié)合國(guó)內(nèi)需要而研制的一種數(shù)字式質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品，采用當(dāng)今先進(jìn)的32位ARM系列處理器做數(shù)字控制。具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過沖小等特點(diǎn)。

　　　☆ RS232/485串口， Modbus（RTU）開放協(xié)議。協(xié)議簡(jiǎn)單可靠，兼容性強(qiáng)，易于組網(wǎng)。配合上位機(jī)，可進(jìn)行各種復(fù)雜的計(jì)量、控制操作及組態(tài)。

　　　☆耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。氣阻較小，工作壓力范圍寬。

　　　☆主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強(qiáng)。

　　　☆可任意角度安裝。

　　　☆兼容數(shù)字和模擬控制及顯示，使用方便。易于與電氣或自動(dòng)控制系統(tǒng)配合。

配合MT-50或51系列流量顯示儀，可對(duì)氣流的瞬時(shí)流量進(jìn)行精確測(cè)量和計(jì)量。

該公司產(chǎn)品分類：氣體流量計(jì) 顯示儀電磁閥流量計(jì)/流量計(jì)控制器

DSN系列國(guó)產(chǎn)熱式氣體質(zhì)量流量控制器

用途和特點(diǎn)

氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller ）用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和

控制。它在多個(gè)領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要而廣泛的應(yīng)用。

東莞德欣于對(duì)產(chǎn)品性能和生產(chǎn)工藝的不斷改進(jìn)，DSN質(zhì)量流量控制器具有精度高、重

復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動(dòng)、穩(wěn)定、工作壓力范圍寬等（可以使用在高壓及真空系統(tǒng)）

特點(diǎn)。操作使用方便，可任意位置安裝，配合DSN2000流量顯示儀或其他流量控制器顯示儀

使用，也可直接同計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)RS-232 連接，非常方便的實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。它也可以作為氣體質(zhì)

量流量計(jì)使用。配合DSN2000流量顯示儀對(duì)氣體的瞬時(shí)流量和累積流量進(jìn)行精確測(cè)量和控制。

主要技術(shù)指標(biāo):

型號(hào)DSN

序號(hào)	項(xiàng)目	內(nèi)容
		DSN—①	DSN—②
１	流量范圍	0～5，10，20，30，50，100，200，300，500 SCCM； 0～1，2，3，5，10 ,20,30SLM;
2	度（%FS）	±2%FS	±1%FS
3	線性(%FS)	±(0.5～2)%F.S	±(0.5～1)%FS
4	重復(fù)精度(%FS)	±0.2%FS
5	響應(yīng)時(shí)間(sec)	電特性：＜10；氣特性：＜1～4
6	工作壓差范圍（MPa）	0.05～0.3
7	耐壓（MPa）	3，10
8	工作環(huán)境溫度（℃）	5～45
9	輸入輸出信號(hào)電壓	0～+5.00V
10	電源	+15V 500mA，－15V 500mA（輸入阻抗大于100K，輸出電流不大于3mA）
11	外形尺寸（mm）	130＊28＊121
12	重量約（kg）	1.0

Compact氣體質(zhì)量流量控制器熱質(zhì)式

應(yīng)用范圍：分析儀器/表面涂裝處理/半導(dǎo)體制造熱處理/雷射焊接/燃燒室噴嘴/燃料電池/發(fā)酵槽/機(jī)械生產(chǎn)制造/氣體生產(chǎn)設(shè)備/氣壓縮設(shè)備/實(shí)驗(yàn)室設(shè)備

技術(shù)指標(biāo)：

顯示方式：4-Digital LCD 液晶顯示；長(zhǎng)條圖形顯示

顯示單位：可測(cè)氣體,空氣,氧氣,氮?dú)?氦氣,氬氣,二氧化碳,甲烷,丙烷,麻醉性氣體笑氣,六氟化硫,丙烯,一氧化碳,丁烯…..等

度：+/-1% FS

滿刻度重設(shè)比例：1：50

反應(yīng)時(shí)間：500ms 精度優(yōu)于 99%

電源供應(yīng)：鋰電池Type AA,電池壽命約2 年選配：外接VDC24V,+/-10%

操作壓力：10bar high on request

操作溫度：0 - 50℃

材質(zhì)：鋁合金材質(zhì)選配：不繡鋼拋光材質(zhì)/Flow element PBT 工程塑料

軸封材質(zhì)：Viton 選配：EPDM

IP 等級(jí)：IP50 / Panel mount IP65

符合德國(guó)EMC 安全規(guī)范：EN50081,EN50082

測(cè)量范圍：

Code	Range air	connection	Code	Range air	connection
A4	4-200ml/min	G1/4”	C4	0.4-20l/min	G1/4”
A5	10-500ml/min	G1/4”	C5	1-50l/min	G1/4”
B4	40-2000ml/min	G1/4”	D3	2-100l/min	G1/2”
B5	100-5000ml/min	G1/4”	D4	4-200l/min	G1/2”

MCALICAT氣體質(zhì)量流量控制器

一、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器測(cè)量原理圖

二、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)

1、50毫內(nèi)完成穩(wěn)定的控制響應(yīng)

準(zhǔn)確、穩(wěn)定的流量取決于控制響應(yīng)速度，艾里卡特®質(zhì)量流量控制器50毫內(nèi)即可到達(dá)新的設(shè)定值�？焖�、可重復(fù)、穩(wěn)定！

2、操作便捷

? 50-100毫控制響應(yīng)

? 允許用戶自行調(diào)節(jié)PID以獲得良好的速度和穩(wěn)定性

? 定制化閥門孔徑以滿量程流量的穩(wěn)定性

? 同一臺(tái)設(shè)備控制質(zhì)量流量、體積流量或絕對(duì)壓力

? 瞬間啟動(dòng)、無需預(yù)熱：1內(nèi)即可開始流量控制

三、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品系列

MC 標(biāo)準(zhǔn)系列

全球控制響應(yīng)快、穩(wěn)定的流量控制器。

MCR 大流量系列

準(zhǔn)確控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特®R系列閥門為全球無摩擦閥門，可精密控制大流量的氣體流量，特殊的孔狀模式允許我們根據(jù)您的應(yīng)用需求量身定制閥門。

MCW / MCRW 低壓損系列

限度減小壓損對(duì)系統(tǒng)的影響，滿量程壓損低僅為4mbar(0.06 psid)；艾里卡特®Whisper低壓損系列質(zhì)量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力MCS / MCRS 耐腐蝕系列

所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)。點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于耐腐蝕系列

MCE / MCV 半導(dǎo)體行業(yè)用系列

可快速、簡(jiǎn)易地替換老化陳舊的熱式流量控制器，可任意定制引腳功能使之與您的控制系統(tǒng)兼容，封閉式閥門設(shè)計(jì)更是符合半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。MCV系列另增加了后置的氣動(dòng)截至閥，門用于真空應(yīng)用�？啥ㄖ葡鄳�(yīng)的防腐蝕系列MCES / MCVS。大量程：0-20 slpm. 點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于半導(dǎo)體行業(yè)用系列

MCD / MCRD 雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列

雙向質(zhì)量流量控制器，可正向或反向控制氣體流量�？啥ㄖ频蛪簱p系列MCDW系列及防蝕型MCDS系列。點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列

四、ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器性能參數(shù)

指標(biāo)	質(zhì)量流量控制器
量程	0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....1500SLPM，2000SLPM，3000SLPM
精度	±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程）
重復(fù)性	±0.2%
量程比	200:1
響應(yīng)時(shí)間	100ms
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(STP)	25℃&14.696PSIA （101.325kPa）
溫度范圍	-10～50
零點(diǎn)漂移	0.02％
量程漂移	0.02％
濕度范圍	0-100%
測(cè)量流量范圍	128％（過流率）
大耐壓	145psi
輸出信號(hào)（數(shù)字）	質(zhì)量流量、體積流量、絕對(duì)壓力和溫度
數(shù)字信號(hào)可選	RS485，Modbus，Profibus
輸出信號(hào)（模擬）	質(zhì)量流量、體積流量、絕對(duì)壓力和溫度
模擬信號(hào)可選	0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA
電氣連接	8針/9針/15針（根據(jù)不同類型流量計(jì)而定）
供電電壓	7-30VDC（4-20mA輸出時(shí)為：15-30VDC）
供電電流	0.035A（4-20mA輸出時(shí)為：0.055A）

該公司產(chǎn)品分類：溫度儀表 ALICAT液體流量計(jì) 渦輪流量計(jì) 電磁流量計(jì) 液體質(zhì)量流量控制器液體質(zhì)量流量計(jì) 氣體質(zhì)量流量控制器氣體質(zhì)量流量計(jì) 管閥件分析測(cè)試儀表壓力儀表流量?jī)x表

MC型氣體質(zhì)量流量控制器

一、產(chǎn)品概述：

該層狀流量控制器采用了一個(gè)比例閥，它與流量計(jì)部分相連。測(cè)量是在流量計(jì)的層狀區(qū)域進(jìn)行的，并且一體化的PID控制器按照用戶的可編程設(shè)定點(diǎn)定位閥門。這些堅(jiān)固的、閉環(huán)控制器可以接收0-5V的控制設(shè)置點(diǎn)信號(hào)，設(shè)置點(diǎn)信號(hào)或者來自一臺(tái)外部的設(shè)備，或者來自一臺(tái)可選的Alicat本地設(shè)定點(diǎn)模塊（LSPM）。

控制器還能接受RS-232，0-10Vdc，或4-20mA控制輸入信號(hào)，這取決于用戶的選擇愛好。與設(shè)定點(diǎn)電壓無關(guān)的是，控制器能配置為單路或雙路信號(hào)輸出，它們可以是同樣的或不同的電壓或參數(shù)，例如質(zhì)量流量和溫度或流量和壓力。這是因?yàn)槲覀兊馁|(zhì)量流量控制器綜合了固態(tài)的差壓、絕壓和溫度傳感器來計(jì)算流量。因此，流量計(jì)不僅使用簡(jiǎn)單而且響應(yīng)快，同時(shí)具有固有的線性和能夠顯示和變送多個(gè)過程參數(shù)。有了RS-232數(shù)字連接，不僅所有的過程參數(shù)可以同時(shí)獲得而且還具有遠(yuǎn)程設(shè)置點(diǎn)能力。

在并行連接中，最多26臺(tái)設(shè)備能被單獨(dú)尋址和控制。氣體量程從每分鐘0.5毫升滿量程到每分鐘1500+升滿量程。規(guī)格尺寸標(biāo)注在設(shè)備背面，規(guī)格尺寸隨著工況的不同可能有所不同。（體積流量計(jì)不需要絕壓傳感器或離散溫度傳感器，因此會(huì)便宜些。他們常用于通風(fēng)到大氣或小的背壓應(yīng)用。）

二、流量控制器的性 1. 壓力，溫度，體積和質(zhì)量流量的持續(xù)顯示（M系列） 2. 簡(jiǎn)易的按鍵操作界面 3. 無熱線圈的熱漂移 4. 固有的線性 5. 通過CE認(rèn)證 6. 可標(biāo)注用戶商標(biāo) 7. NIST Traceability 8. 設(shè)定點(diǎn)可通過動(dòng)態(tài)數(shù)字顯示 9. RS232串行輸出標(biāo)準(zhǔn)

三、設(shè)計(jì)特點(diǎn) 1. 滿量程從0.5CCM到1500LPM+ 2. 響應(yīng)時(shí)間100ms 3. 量程比優(yōu)于100：1 4. 位置不敏感 5. 自動(dòng)復(fù)位或在顯示屏上按復(fù)位鍵（Tare）復(fù)位 6. ±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程（高精度選項(xiàng)±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程） 7. 17種氣體選擇，無須重新校驗(yàn)（須帶顯示） 8. 動(dòng)態(tài)數(shù)字顯示 9. 本地控制能力

產(chǎn)品規(guī)格	MC	測(cè)量單位
量程范圍	0.5，1，2，5，10，20，50，100，200，500，800	(S)CCM
量程范圍	1，2，5，10，20，50，100，250，500，1000，1500	(S)LPM
精度等級(jí)	±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程（高精度選項(xiàng)±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程）	滿量程
重復(fù)性	±0.5%	滿量程
量程比	100：1
響應(yīng)時(shí)間	100	毫秒
壓降	-	與廠家商議
操作溫度	-10～50	℃
零點(diǎn)漂移	0.02%/ATM	滿量程/℃
范圍漂移	0.02%/ATM	滿量程/℃
濕度量程	0-100%	無冷凝
過流率	2.4%	滿量程
最大耐壓	125	PSIG
供應(yīng)電流	當(dāng)流量≤20LPM時(shí)： 0.25 當(dāng)流量≥50LPM時(shí)： 1	安培
電源電壓	當(dāng)流量≤20LPM時(shí)：12-25VDC 當(dāng)流量≥50LPM時(shí)：24-30VDC
輸入/輸出	0-5VDC，0-10VDC，4-20mA,RS-232	VDC
電氣連接	8針或可選的工業(yè)連接插頭	小型圓插頭 DIN
機(jī)械連接	1/8"接口：流量≤20(S)LPM 閥門側(cè)1/2"接口，流量計(jì)側(cè)1/4"接口：當(dāng)流量為50(S)LPM和100(S)LPM時(shí) 1/2"接口：當(dāng)流量為250～1000(S)LPM 1"接口：當(dāng)流量＞1000(S)LPM	NPTF
接液部件	303和302不銹鋼，Viton®，RTV硅樹脂，玻璃纖維增強(qiáng)尼龍，陽極氧化鋁，410&304不銹鋼，鎳，銅，Delrin®，Loctite®粘劑326，401，609

產(chǎn)品尺寸：

流量范圍	高度	長(zhǎng)度	深度	流量計(jì)接口	閥門接口
≤20（S）LPM	4.08"	3.5"	1.56"	1/8" NPT(F)	1/8" NPT(F)
20～50（S）LPM	4.600"	～5.7"	2.0"	1/4" NPT(F)	1/2" NPT(F)
50～100（S）LPM	4.727"	～6.6"	2.0"	1/4" NPT(F)	1/2" NPT(F)
100～1000（S）LPM	5.242"	～6.6"	2.0"	1/2" NPT(F)	1/2" NPT(F)

注意事項(xiàng)：特別低的流量裝置可能配有特殊接口以減少死區(qū)量。有時(shí)候，特殊的流量/壓力條件可能規(guī)定各種接口尺寸的組合。