氣體質(zhì)量流量控制器
采用關(guān)鍵矽微機械加工技術(shù)的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的MEMS（ Microelectromechanical systems）氣體質(zhì)量流量計和流量控制器，主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。
該產(chǎn)品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復(fù)性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應(yīng)時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償。
二技術(shù)參數(shù)（本產(chǎn)品按Q/320500HH009-2014進(jìn)行生產(chǎn)、校驗）
2.1 測量介質(zhì)：各種氣體（乙炔氣和混合氣體除外）
2.2 流量范圍： DN3 100-1000mL/min
DN4 250-2500mL/min
DN6 1000-10000mL/min
DN8 1500-15000mL/min
DN10 2500-25000mL/min
注：(a)以上流量的測量介質(zhì)為空氣而言；
(b)以上流量的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)20℃，101.325kPa。
2.3 流量測量準(zhǔn)確度：±1.5%FS
2.4 工作溫度范圍：0-55℃；
2.5 工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa``
2.6 供電電源：24VDC±10%；
2.7 輸出信號：4-20mA，RS485通訊；
2.8 環(huán)境溫度：0-55℃；
2.9 顯示位數(shù)：瞬時流量為三位，累積流量10位。
氣體質(zhì)量流量控制器 型號:BHBL6-S49-300/MT 數(shù) 字 式
| 氣體質(zhì)量流量控制器 型號:BHBL6-S49-300/MT 數(shù) 字 式 | 貨號: |
| 一、產(chǎn)品主要特點:本產(chǎn)品可自動測控氣體質(zhì)量流量。不受溫度和壓力的限制，度高、重復(fù)性好標(biāo)準(zhǔn)電信號輸入輸出，可測控瞬間和累計流量。適用于各種介質(zhì)，可替代同類進(jìn)口產(chǎn)品，除此以外，還具有以下特點： 1、采用當(dāng)今的40MHz高速主頻、32位ARM系列單片機做數(shù)字處理控制。數(shù)字化處理的測量線性、精度，及實時動態(tài)控制等。響應(yīng)速度做到了2秒。 2、12位精度、采樣速率高達(dá)1MSPS的AD/DA轉(zhuǎn)換。 3、RS232/485串口，Modbus協(xié)議，與上位機通訊簡單方便。配合上位機，可進(jìn)行各種復(fù)雜的計量、控制操作及組態(tài)。 4、結(jié)構(gòu)主體采用不銹鋼（316L）材料，氣密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。5、耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。6、具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動、工作穩(wěn)定？扇我馕恢冒惭b。 7、兼容模擬電氣操作控制及顯示，使用方便。易于與電氣或自動控制系統(tǒng)配合。 二、主要技術(shù)指標(biāo) 表1、硬件性能 項目\型號 S49-300/MT S49-300A/MT 1 流量范圍 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM;0~1,2,3,5,10,15,20SLM2 調(diào)節(jié)閥類型 電磁調(diào)節(jié)閥 3 調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài) 常閉（設(shè)定<2% F.S） 4 度 ±1%F.S10SCCM~10SLM規(guī)格，其余規(guī)格≤±2% F.S。精度范圍10%~100% F.S 5 線性 ±0.5~1.5%F.S 6 重復(fù)精度 ±0.2%F.S 7 響應(yīng)時間 2Sec 8 工作壓差范圍 0.05~0.4MPa; 0.1~0.4MPa10~30SLM 9 耐壓 3MPa; 10MPa 10 工作環(huán)境溫度（℃） 5~45 11 材料 不銹鋼316L 12 標(biāo)準(zhǔn)密封材料 Viton®， EPDM， 或其他由用戶指定 13 漏率 ＜2×10-9mbar.l/s He 14 接頭 Φ6mm, Φ1/4″Swagelok。1/4″VCR。或其他由用戶指定 15 輸入輸出信號 模擬0~＋5.00V 輸入阻抗≥100KΩ,負(fù)載輸出電流能力≤3mA數(shù)字RS232/RS485串口，Modbus RTU 協(xié)議 16 供電電源 ±15V（±2%）（＋15V 50mA, －15V 200mA） 17 外型尺寸（mm） 123×111×28 18 重量（kg） 0.7 | 產(chǎn)品圖片 |
INHA氣體質(zhì)量流量控制器
私人定制 該產(chǎn)品為定制產(chǎn)品，中外合作，價格需電議，廠家直銷仁荷微電子科技有限公司主要從事質(zhì)量流量器的研制、開發(fā)、制造、銷售以及質(zhì)量流量器各種配件模具的設(shè)計、加工等相關(guān)的服務(wù)。產(chǎn)品包括超高質(zhì)量的氣體質(zhì)量流量控制儀器及測量儀器、氣體工藝解決方案和全球服務(wù)支持方案。本公司產(chǎn)品氣體質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于工業(yè)氣體、石油、化工、醫(yī)療、電子及微電子、半導(dǎo)體、太陽能光伏、各類實驗室、研究所、生物醫(yī)藥、標(biāo)準(zhǔn)檢測等各類高新技術(shù)領(lǐng)域，為客戶提供各種氣體管道輸送系統(tǒng)的全面服務(wù)。深受廣大客戶的肯定及認(rèn)同。
我公司生產(chǎn)的氣體質(zhì)量流量控制器所使用的技術(shù)全由我們獨家技術(shù)，具有自主知識產(chǎn)權(quán)，產(chǎn)品的每一個部件都有我們自己設(shè)計制作，且已取得了多項技術(shù)專利申請 ,氣體質(zhì)量流量控制器每一個部件我們都以精益求精的質(zhì)量服務(wù)廣大客戶，讓客戶體驗到自動化流量控制設(shè)備帶來的改變，為現(xiàn)有的產(chǎn)品技術(shù)升級提供基礎(chǔ)服務(wù)。 致力于為客戶開發(fā)“生產(chǎn)工藝最優(yōu)化和成本化”的解決方案及相關(guān)產(chǎn)品。并且能夠提供高效優(yōu)質(zhì)的售后服務(wù)。
產(chǎn)品優(yōu)勢：本公司自主開發(fā)研制的產(chǎn)品質(zhì)量流量計，是一種先進(jìn)的智能精密質(zhì)量流量測量儀表？芍苯佑脕頊y量管道中介質(zhì)的質(zhì)量流量及總量、體積流量及總量、介質(zhì)的密度、溫度、溶液的濃度以及較均勻混合的兩種液體各自的濃度等參數(shù)。 該流量計即使在惡劣的工作環(huán)境下也能表現(xiàn)出優(yōu)異的性能。對工況條件也沒有苛刻的要求。具有抗干擾能力強，測量精度高、量程比大、工作穩(wěn)定可靠、對安裝要求低、對流體狀態(tài)要求低，壓力損失小等優(yōu)點，且易清洗、具備自排空功能；其基本技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到國際先進(jìn)水平， 每臺傳感器都由不銹鋼材料制造，變送器的多種輸出能滿足您的各種需求。我公司生產(chǎn)的產(chǎn)品所使用的技術(shù)全由我們獨家技術(shù)，具有自主知識產(chǎn)權(quán)，產(chǎn)品的每一個部件都有我們自己設(shè)計制作，且已取得了多項技術(shù)專利申請MF系列
MF-50/100/200C MF-100/200MMF產(chǎn)品系列特點：有很寬的工作壓力范圍，產(chǎn)品可以從真空直到10Mpa;本產(chǎn)品可以使用多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體等等）；有很寬的流量范圍，產(chǎn)品最小流量范圍可達(dá)0~10sccm，最大流量范圍可達(dá)0~30slpm。流量控制范圍是滿量程的2~100%（量程比為50:1）。——耐高壓（最大工作壓力可達(dá)100bar）——響應(yīng)時間快≤1sec——模擬輸入輸出接口（0-5Vdc或4-20mA可選）——連接尺寸與其他標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量器兼容——尺寸小——連接方便，快拆快擰——交貨周期短——優(yōu)惠的價格極具性價比——準(zhǔn)確率高——穩(wěn)定的流量控制——壓力范圍廣
用途和特點氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）在石化工業(yè)、生化、半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、醫(yī)藥、蔬果保鮮、加氣飲料、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的場合包括：電子工藝設(shè)備，如：氧化、CVD、MOCVD、擴散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、以及微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、氣相色譜儀及其他分析儀器。結(jié)構(gòu)
氣體質(zhì)量流量計由流量傳感器（Sensor），分流器通道和流量放大電路等部件組成；在氣體質(zhì)量流量計的基礎(chǔ)上，再加上調(diào)節(jié)閥門和PID控制電路就構(gòu)成了氣體質(zhì)量流量控制器。工作原理•流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理氣體的質(zhì)量流量（無需溫度壓力補償）。•將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較，再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。•分流器決定主通道的流量。•與之配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)定電源，3位半數(shù)字電壓表，設(shè)定電位器，外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。•控制器輸出的流量栓檢測電壓與流過通道的質(zhì)量成正比，滿量程（F.S）流量檢測輸出電+5V。氣體質(zhì)量流量控制器的流量控制范圍是（2~100）%F.S（程比為50：1）
主要技術(shù)指標(biāo)
編號 項目 MF-200C MF-200M1 流量規(guī)格（N2） 10sccm～30slpm 2 準(zhǔn)確度 ±1％F.S(Full Scale)3 重復(fù)精度 ±0.25％F.S（Full Scale）4 響應(yīng)時間 ≤2sec（特別要求時：≤1sec）5 耐壓 ≤90bar6 工作環(huán)境溫度 0℃～50℃7 輸入輸出信號 0～5V 0～5V or 4～20mA8 供電 +15Vdc or +24Vdc 350mA9 漏率 1×10atm.cc/sec10 使用范圍 2～100％滿量程
MPC氣體質(zhì)量流量控制器
品牌:日本山武Yamatake（創(chuàng)立于1906年） 型號:MPC系列 類型:氣體質(zhì)量流量控制器 測量范圍:2ML—20L/MIN 精度等級:1—2%FS以下 適用介質(zhì):空氣/氮氣/氧氣/氬氣/CO2模擬信號：0-5V、1-5V工作壓力:0.5（MPa） 工作溫度:-10 到 +60（℃）
盤裝面板式質(zhì)量流量控制器MPC系列是本公司獨自開發(fā)的超高速響應(yīng)流速傳感器。集MicroFlow傳感器、超小型比例電磁閥、新方式的流路和高度的執(zhí)行器技術(shù)于一體，可安裝在儀表盤上的質(zhì)量流量控制器。 特點： 1：全球面板式安裝氣體流量計；世界最小、最輕的質(zhì)量流量控制器（面板尺寸48*48mm，深73.7MM；最輕300公克） 2：盤式結(jié)構(gòu)，LED數(shù)字顯示，產(chǎn)品面板上有可調(diào)節(jié)各種功能的按鈕，極其容易操作;通訊功能RS-485 3：帶有RS-485通訊，能于其他外部設(shè)備實現(xiàn)通訊4：采用了感熱式質(zhì)量流量測量，因此實現(xiàn)了不受溫度、壓力變動影響的精確測量5：響應(yīng)速度高速1秒以內(nèi)，高精度1—2%FS以下的流量控制
詳細(xì)型號和資料歡迎來電咨詢柯勇 13122347382郵箱：keyong0519@163.comQQ：717563143
C50熱式氣體質(zhì)量流量控制器氮氣流量計氬氣流量計
氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，簡稱MFC）利用溫差量熱法原理，可對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。用這種方法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力影響。
本產(chǎn)品采用中華人民共和國電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T10583-94以及SJ37所規(guī)定的通用技術(shù)條件和命名方法。
MFC出廠通常用氮氣（N2）標(biāo)定。
質(zhì)量流量的單位規(guī)定為：SCCM (標(biāo)準(zhǔn)毫升/分)，SLM (標(biāo)準(zhǔn)升/分)
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：溫度－－-273.15 K（0℃），氣壓—-101325 Pa（760mm Hg）
F.S.（Full Scale）：滿量程值
產(chǎn)品特點
本產(chǎn)品具有穩(wěn)定可靠、響應(yīng)時間短、標(biāo)定精度和重復(fù)精度高等優(yōu)點，安裝方便，無安裝位置和直管段要求，操作簡單，可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使用，也可通過模擬/數(shù)字信號轉(zhuǎn)換器（AD/DA轉(zhuǎn)換器）配合計算機使用。
流量規(guī)格(N2標(biāo)定)
0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
0～1,2,3,5,10,20,30 SLM
注：滿量程流量不限于此處列出的流量規(guī)格，可以在5SCCM～30SLM范圍內(nèi)任選，例如123SCCM。
輸入輸出信號
0～+5.00V (輸入阻抗大于100kΩ，輸出電流不大于3mA)
應(yīng)用行業(yè)
化學(xué)工業(yè)、石化工業(yè)、LNG工業(yè)、半導(dǎo)體材料和微電子工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、特種材料研究、環(huán)保和真空行業(yè)等。使用本產(chǎn)品的設(shè)備主要有：真空鍍膜設(shè)備、混氣配氣設(shè)備、光纖熔煉設(shè)備、晶體制備設(shè)備、微電子設(shè)備、微反應(yīng)裝置、氣相色譜儀及其它分析儀器等。
質(zhì)保與服務(wù)
我公司承諾對產(chǎn)品的質(zhì)保期為叁年。在您收貨后叁年以內(nèi)，如果按照說明書要求使用，遵守安全注意事項，并且產(chǎn)品沒有被損毀、改裝或翻新，若有任何故障和問題，我公司負(fù)責(zé)免費維修或更換新品。
在保修期外，我們提供終身維修和維護(hù)服務(wù)，但適當(dāng)收取維修和維護(hù)的成本費。維修和維護(hù)后，維修部分的質(zhì)保期為壹年。
我公司有專業(yè)的售后工程師可以幫助您解決關(guān)于安裝和使用等各方面的問題，并且提供產(chǎn)品的使用培訓(xùn)。
| 流量規(guī)格(N2標(biāo)定) | 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM |
| 流量規(guī)格(N2標(biāo)定) | 0～1,2,3,5,10,20,30 SLM |
| 調(diào)節(jié)閥類型 | 常閉式 |
| 量程比 | (2～100)％F.S. 或50:1 |
| 流量分辨率 | 0.1％F.S. |
| 準(zhǔn)確度 | ±1％F.S. (≤15SLM) |
| 準(zhǔn)確度 | ±2％F.S. (＞15SLM) |
| 線性 | ±0.5％F.S. (≤15SLM) |
| 線性 | ±2％F.S. (＞15SLM) |
| 重復(fù)精度 | ±0.2％F.S. |
| 響應(yīng)時間 | ≤2sec |
| 工作壓差范圍 | 0.1～0.5MPa (≤10SLM) |
| 工作壓差范圍 | 0.1～0.3MPa (＞10SLM) |
| 最大耐壓 | 3MPa |
| 工作環(huán)境溫度 | 5～45℃ |
| 電纜接頭 | DB15pin(針形) |
| 輸入輸出信號 | 0～+5.00V (輸入阻抗大于100kΩ，輸出電流不大于3mA) |
| 供電電源要求 | +15VDC(50mA),-15VDC(200mA) |
| 對外單點泄漏率 | ≤1×10-9Pa·m3/S(He) |
| 介質(zhì)接觸材質(zhì) | 316，316L，密封填料 |
| 管道接頭尺寸 | VCR型接頭：1/4” |
| 管道接頭尺寸 | 雙卡套型接頭：1/8”、1/4”、3/8”或φ3、φ6、φ8、φ10 mm |
| 外形尺寸 | 長×寬×高：127×30×100 mm |
| 凈重量 | 0.88kg |
EL-FLOW® 實驗室型氣體質(zhì)量流量控制器
EL-FLOW®系列質(zhì)量流量控制器是一款高科技代表的產(chǎn)品，能測量控制流量范圍：0..1 mln/min 到 0..1250 ln/min，最大操作壓力達(dá)到400 bar。
Bronkhorst Hi-Tec EL-FLOW®系列儀表性能表現(xiàn)：
- 精度
- 穩(wěn)定性
- 實用性
- 品質(zhì)
技術(shù)應(yīng)用：
- 模塊化結(jié)構(gòu)
- 電化學(xué)拋光
- SMT表面貼裝工藝
- 噪聲信號抑制
- 自動溫度補償
- 內(nèi)部電壓調(diào)整
控制閥被設(shè)計成模塊化結(jié)構(gòu)，可以方便地更換，Kv值為1.5。獲得專利保護(hù)的獨特結(jié)構(gòu)設(shè)計，能適應(yīng)大流量及高差壓的控制，這是的產(chǎn)品。
應(yīng)用
- 實驗室的實驗裝置
- 在食品、化學(xué)和石化工業(yè)中的過程控制
- 發(fā)酵和生物化學(xué)
- 質(zhì)量控制和泄露偵測系統(tǒng)
- 氣體混合控制和環(huán)境控制
- 燃燒控制
- 半導(dǎo)體制造
- 表面處理裝置
流量范圍表(空氣)
| F-200C | min. 0,02 ... 1 mln/min |
| max. 0,2 ... 10 mln/min | |
| F-201C | min. 0,2 ... 10 mln/min |
| max. 0,3 ... 15 ln/min | |
| F-201AC | min. 0,2 ... 10 ln/min |
| max. 1,4 ... 70 ln/min | |
| F-202AC | min. 0,5 ... 25 ln/min |
| max. 5 ... 250 ln/min | |
| F-203AC | min. 2 ... 100 ln/min |
| max. 25 ... 1250 ln/min | |
| F-232M | min. 0,2 ... 10 mln/min |
| max. 2 ... 100 ln/min |
氣體質(zhì)量流量控制器
被測氣體分別流經(jīng)兩個層流區(qū)，一路通過主流量管道，另一路通過毛細(xì)測量管。
兩個管路的設(shè)計保證流體處于層流狀態(tài)，因此兩個管路流量比是恒定的。
兩個精密的溫度感應(yīng)繞組在測量管上被加熱，當(dāng)有流量產(chǎn)生時，被加熱的氣體從上游帶走熱量到下游的感應(yīng)繞組上。產(chǎn)生溫差和感應(yīng)圈電阻的變化是成比例的。
測量繞組的電阻值與瞬時流量成線性比例關(guān)系，采用惠斯頓電橋來檢測測量繞組的電阻變化。
根據(jù)被測氣體的質(zhì)量流量，輸出0-5VDC或者4-20mA信號。
經(jīng)過兩個層流區(qū)的氣體混合后流過具體特定孔徑的電磁比例閥，質(zhì)量流量測量與電磁比例閥組成閉環(huán)的控制系統(tǒng)，使流量穩(wěn)定在設(shè)定的流量值上。
在一定范圍內(nèi)溫度和壓力的變化不會影響流速。參數(shù)規(guī)格：
產(chǎn)品名稱：氣體質(zhì)量流量控制器 精度： 精度%FS
型號 GFC17,37，47 GFC57,67,77
流量范圍 0-100% 20-100% 0-20%
精度 ±1% ±1.5% ±3%
可選精度%FS
型號 GFC17 GFC37，47,57,67,77
流量范圍 0-100% 20-100% 0-20%
精度 ±1% ±1% REF DATA with ±1%
校準(zhǔn)：標(biāo)況【14.7psia（101.4kpa），70℉（21.1℃）】
重復(fù)性：±0.25%滿里程、
響應(yīng)時間：在滿里程的25-100%范圍內(nèi)，2秒內(nèi)達(dá)到2%精度
溫度系數(shù)：0.05%滿里程/℃
壓力系數(shù)：0.01%滿里程/psi（0.07bar）
推薦氣體壓力：25psig（1.73bars）
最大氣體壓力：GFC17,37,47最大1000psi（70bars）.GFC57,67，77最大500psig（34.5bars）
量程比：40:1
最大壓差：GFC17/37/57/67/77 50psi（3.4bars），GFC47 40psi（2.7bars）
氣體和周圍溫度：32℉-122℉（0℃-50℃），14℉-122℉（-10℃-50℃），干燥氣體
方位靈敏度：水平到垂直旋轉(zhuǎn)低于15度；標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)是在水平位置
輸出信號：線性0-5Vdc（3000ohms最小負(fù)載阻抗）；線性4-20mA（500ohms最大回路電阻）最大噪聲±20mV
控制信號：遠(yuǎn)程設(shè)定模式：模擬0-5Vdc或4-20mA；NPN兼容清洗/關(guān)閥
連接：GFC17and37：1/4＂卡套連接
可選6mm，1/4VCR，3/8或1/8卡套
GFC47：3/8＂卡套
GFC57：3/8＂卡套
GFC67：1/2＂卡套
GFC77：3/4＂FNPT.可選：3/4＂卡套
泄漏率：氦氣泄漏率1*109sml/s
輸入電源：+12Vdc，800mA；可選+24Vdc，650mA
回路保護(hù)：電路板內(nèi)置極性保護(hù)，自動恢復(fù)電阻保護(hù)電源過載輸入
顯示：3-1/2數(shù)字LCD，0.5＂英寸高字符
CE認(rèn)證：EN55011class1,classB;EN50082-1產(chǎn)品視頻：
氣體質(zhì)量流量控制器
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微小氣體質(zhì)量流量控制器，廠家直銷高精度高穩(wěn)定性快速響應(yīng)價格優(yōu)，歡迎新老客戶來電咨詢！
| 功能 | 流量計/控制器 | |
| 基本型號 | LF400-S | |
| 滿量程流量范圍(N2) | SCCM | 0～5，10，20，30，50，100，200，500 |
| SLM | 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 | |
| 精度(％F.S) | ±1(≤15SLM) | |
| ±1.5(＞15SLM.) | ||
| 控制閥動作型式 | 常閉式 | |
| 線性(％F.S.) | ±0.5～1(≤15SLM) | |
| ±1.5％(＞15SLM.) | ||
| 重復(fù)精度(％F.S.) | ±0.2 | |
| 響應(yīng)時間(sec) | ≤1 | |
| 流量輸出信號 | 0-+5.00V | |
| 流量設(shè)定信號 | 0-+5.00V | |
| 電器接頭 | DB15 pin(接頭) | |
| 工作環(huán)境溫度 | (℃) | 5～45 |
| 工作壓差 | (MPa) | 0.1～0.5 |
| 漏率 | SCCSHe | 1×10-9 |
| 最大耐壓 | 3MPa | |
| 介質(zhì)接觸材質(zhì) | 304，316，316L | |
| 密封材料 | 氟橡膠，硅橡膠，丁氰橡膠，聚四氟乙烯 | |
| 接頭 | VCR " 1/4、1/2 | |
| Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm | ||
| 接頭和尺寸 | Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm 1/4"VCR:127×28×100mm | |
| 電源要求 | +15V,50mA;-15V,200mA | |
| 重量 | 1.0KG | |
M3030V小流量氣體質(zhì)量流量控制器M3030V
| |
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|
應(yīng)用領(lǐng)域：－分析儀器 －干刻（RIE/DRIE） －燃料電池－生物技術(shù) －氣相色譜分析 －等離子刻蝕－激光焊機 －混氣配氣系統(tǒng) －微反應(yīng)裝置－真空鍍膜 －過程自動化 －石化工業(yè)
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