干燥箱/烘箱產(chǎn)品及廠家
表面改性疏水處理設(shè)備將疏水材料硅烷偶聯(lián)劑，通過霧化設(shè)備噴涂到陶瓷纖維表面，經(jīng)高溫烘烤數(shù)小時(shí)增強(qiáng)附著力。
更新時(shí)間:2025-07-08
三箱式百無塵烤箱，電子百潔凈烘箱采用彩色觸摸屏溫度控制器，內(nèi)置曲線記錄、查詢 pid自整定、高溫上限報(bào)警、 運(yùn)行方式：定值、程式 語言：中、英文
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全不銹鋼潔凈烘箱，高溫潔凈烘箱定做潔凈度class 100，設(shè)備采用無塵材料，適用100光刻間凈化環(huán)境
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智能型無塵無氧烘箱(pi固化厭氧烤箱)采用人機(jī)界面+plc，智能控制模式，可一鍵完成作業(yè)。人機(jī)界面采用觸摸屏來實(shí)現(xiàn)參數(shù)、狀態(tài)等界面的顯示和參數(shù)的設(shè)定輸入。
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真空無氧化烤箱（bcb厭氧固化烤烘箱）是將涂敷bcb或pi的襯底放入真空無氧烘箱中，通入n2→真空置換后，采用多升溫保溫的方式，在規(guī)定的時(shí)間從室溫升至一溫度階段，并在該溫度段保溫1-2h，再在規(guī)定的時(shí)間從一溫度升至第二溫度階段，并在該溫度段保溫一定的時(shí)間；隨后增通過輔助的降溫系統(tǒng)（水冷和風(fēng)冷），將退火爐的溫度降至80度左右，完成固化。
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高溫真空無氧烤箱，真空無氧化固化爐操作界面：人機(jī)界面+plc，可一鍵運(yùn)行，多個(gè)工藝編輯；溫度測(cè)量：k型熱偶；控制儀表：高精度溫度控制器，pid調(diào)節(jié)，控制精度0.1℃，可程式觸摸屏控制器可選擇
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雙門氮?dú)夂嫦涠ㄖ，可充氮熱風(fēng)循環(huán)烘箱箱體材料：外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板烤漆；內(nèi)室材料：采用sus304＃無磁性鏡面不銹鋼；
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可程式真空干燥箱，快速降溫真空烘箱用于鍵合鍵合材料的真空固化 、ito膜退火，bcb/pi膠固化等工藝。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子產(chǎn)品、醫(yī)療衛(wèi)生等行業(yè)，適用于工廠、高等院校、科研等場(chǎng)所。
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class100高溫潔凈烘箱，程控式無塵烤箱采用液晶觸摸屏溫度控制器，內(nèi)置曲線查詢、pid自整定、高溫上限報(bào) 警運(yùn)行方式：定值、程式，中、英文操作。
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高溫?zé)o氧烘箱，充氮高溫?zé)o氧烤箱應(yīng)用于mems智能傳感器芯片生產(chǎn)、lcd工段生產(chǎn)、玻璃基板等工藝中的pi（聚酰亞胺）固化，bcb聚合物、pbo高溫固化，銀膠固化，光刻膠固化，鍍金方案中感濕膜烘烤工藝，車載玻璃鍍膜后退火，硅片（晶圓）高溫退火，pcb板防氧化烘烤，氟橡膠材料厭氧烘烤工藝，電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求
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上海百潔凈烘箱用于精密電子元件、高溫烘烤、堅(jiān)膜烘烤、半導(dǎo)體元件封裝、治具干燥、銀膠固化、晶圓退火、芯片高溫測(cè)試、
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塑封固化用潔凈烘箱采用自動(dòng)加熱的方式對(duì)其進(jìn)行保溫固化，固化溫度維持在 175℃，固化時(shí)間為 8 小時(shí)。塑封固化的主要作用是消除塑封料內(nèi)部的應(yīng)力。
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濕敏元件用烘箱滿足各種濕敏元件烘烤條件的用烘烤設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)：40℃～90℃ 低溫烘烤125℃~150℃ 烘烤及高溫試驗(yàn)
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高溫?zé)o氧烘箱520l用于精密電子元件、銀膠固化、pi/bcb/bpo膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、晶圓退火電子陶瓷材料防氧化烘干、測(cè)試的特殊工藝要求。
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hmds烤箱，hmds真空烘箱即hmds(六甲基二硅烷)增粘劑氣相涂布成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。
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智能型無塵無氧烘箱，高溫?zé)o塵無氧化烘箱又稱為pi固化烘箱，厭氧烘箱，高溫?zé)o氧烘箱，用于pi、bcb膠高溫固化、lcp熱處理烘烤、光刻膠固化等電子，半導(dǎo)體、新材料行業(yè)。
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hmds烘箱是將hmds蒸汽通過干燥的真空腔內(nèi)加熱到(120-150°c)，在襯底表面上hmds作為單層膜進(jìn)行化學(xué)結(jié)合。
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氮?dú)庹婵諢犸L(fēng)烘箱，高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱可達(dá)低氧濃度，厭氧烘烤、低真空熱處理烘烤。適用于bcb固化、pi聚酰亞胺固化、lcp纖維熱處理、光刻膠固化？捎糜诎雽(dǎo)體、新材料、電子產(chǎn)品、醫(yī)療衛(wèi)生等行業(yè)，適用于工廠、高等院校、科研等場(chǎng)所。
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六甲基二硅氮烷(hmds)表面處理設(shè)備的工藝是勻膠襯底“增附”處理。容積大。350*350*350/450*450*450
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熱風(fēng)真空烘箱，真空+鼓風(fēng)一體烘箱主要用于bcb固化、pi固化、其他光刻膠固化、lcp熱處理等工藝
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無氧烘箱，光刻膠固化烘箱用于精密電子元件、pi膠固化烘烤、bcb固化，光刻膠固化、lcp液晶聚合物熱處理、電子陶瓷材料烘干的特殊工藝要求，
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pi無氧烘箱工藝流程用于半導(dǎo)體/電子/新材料/新能源等行業(yè)。bcb、pi、pbo膠固化，lcp新材料、鋰電池等產(chǎn)品熱處理。
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hmds涂膠機(jī)，智能型hmds涂膠機(jī)，hmds自動(dòng)涂膠機(jī)將hmds涂到半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。
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氮?dú)夂嫦洌南涞獨(dú)饪鞠，不銹鋼充氮烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、lcd、cmos、is、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
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抗粘劑鍍膜機(jī)，抗粘劑蒸鍍機(jī)，抗粘劑氣相涂布機(jī)在納米壓印工藝中模具在進(jìn)行壓印要進(jìn)行預(yù)處理，當(dāng)模具壓印光刻膠后脫模時(shí)，有2種可能，一種是模具可完全脫離，壓印膠圖形完整保留;一種是模具和壓印膠粘在一起脫模過程中膠也被帶起來，使得壓印圖形無法保留，而這些粘在模具上的膠也會(huì)污染模具。因此模具在使用，要涂一層抗粘劑，使得模具和壓印膠之間的粘附性變差，使脫模過程變得容易。
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抗粘劑涂膠機(jī)，抗粘劑真空預(yù)處理系統(tǒng)給模板制備抗粘層，制備抗粘層的方法以及模板的結(jié)構(gòu)也會(huì)影響到終的抗粘效果。當(dāng)模板結(jié)構(gòu)在100nm以下時(shí)，在液相中制備的抗粘層就不能完全起到抗粘的作用。這是因?yàn)樵谀０宓慕锹渲袝?huì)滯留一部分空氣而導(dǎo)致抗粘材料無法到達(dá)這些位置然而，若采用氣相的方法則不存在這樣的問題。
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半導(dǎo)體充氮烘箱，氮?dú)饪灸z烘箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設(shè)備。烘箱內(nèi)部整機(jī)為不銹鋼結(jié)構(gòu)，全部采用無塵材料，箱內(nèi)持續(xù)充氮，使烘箱工作室內(nèi)處于潔凈狀態(tài)
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高溫百無氧烘箱，500度厭氧潔凈烤箱用pi、bcb 膠高溫固化烘烤、銀膠固化、光刻膠固化、電子陶瓷材料、硅片退火、玻璃退火、無塵烘干的特殊工藝要求
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抗粘劑氣相成底膜烘箱，抗粘劑氣相沉積系統(tǒng)主要用于納米壓印光刻（nil）應(yīng)用，防粘涂層的制備，可用于光刻工藝中hmds增粘劑涂膠；以及功率半導(dǎo)體,led,mems,半導(dǎo)體分立器件等硅烷沉積涂膠工藝。
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智能型hmds涂膠機(jī)，自動(dòng)hmds涂膠鍍膜機(jī)也稱為hmds處理，是用于使晶片表面呈疏水性的處理。
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百三箱潔凈烤箱，高溫潔凈烘箱定制應(yīng)用于精密電子元件、高溫烘烤、堅(jiān)膜烘烤、治具干燥、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、led、pcb板、ito玻璃、四氟材料等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè).
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晶圓潔凈烘箱，不銹鋼百烤箱定制用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、lcd、cmos、is、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門
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潔凈氮?dú)鉄犸L(fēng)烘箱，精密充氮是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設(shè)備。烘箱整機(jī)為不銹鋼結(jié)構(gòu)，全部采用無塵材料，箱內(nèi)持續(xù)充氮，使烘箱工作室內(nèi)處于潔凈狀態(tài)。工作室內(nèi)溫度由溫控儀自動(dòng)控制，并有自動(dòng)恒溫及時(shí)間控制裝置，并附設(shè)有超溫自動(dòng)斷開加熱及報(bào)警電路，控制可靠，使用安全。
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無氧烘箱，無氧烤箱氧濃度儀應(yīng)用于精密電子元件、pi、bcb、lcp固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料烘干的特殊工藝要求，模擬線性升降溫環(huán)境，特別適合半導(dǎo)體制造、cob封裝、醫(yī)療衛(wèi)生、柔性線路板印刷、精密模具煺火等行業(yè)的無氧化干燥烘烤工藝要求
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hmds預(yù)處理系統(tǒng)(js-hmds90 )將hmds氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。
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智能型hmds真空系統(tǒng)（js-hmds90-ai）將hmds氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。
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堅(jiān)膜無塵烤箱，半導(dǎo)體無塵烘箱?用于高精度硅上薄膜電阻制造過程中堅(jiān)膜工藝。也用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤。
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無氧化烤箱應(yīng)用于精密電子元件、pi、bcb膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，形成高溫、低氧（無氧）、潔凈環(huán)境，特別適合半導(dǎo)體制造、cob封裝、醫(yī)療衛(wèi)生、柔性線路板印刷、精密模具煺火等行業(yè)的無氧化干燥烘烤工藝要求，廣泛應(yīng)用于電子產(chǎn)品、五金制品、醫(yī)療衛(wèi)生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等行業(yè)。
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無塵烤箱配備hepa過濾器，以保持爐腔無顆粒。 hepa過濾器（高效微粒捕獲）現(xiàn)在是電子和平板顯示器潔凈室組裝的主要過濾系統(tǒng)，或任何需要大程度減少或去除亞微米微粒的應(yīng)用。 hepa過濾器具有隨機(jī)定位的微玻璃纖維的深床，其中與平均纖維直徑和自由路徑橫截面的有效孔相比，總床深度（過濾器的厚度）非常大。
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無塵無氧烤箱，智能無塵無氧烤箱應(yīng)用于精密電子元件、pi、bcb膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、led、pcb板、ito玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè).智能無氧烤箱可以使用tcp / ip（使用hsms標(biāo)準(zhǔn)，semi e37）或基于rs-232的協(xié)議與支持gem的主機(jī)進(jìn)行通信。通常這兩種協(xié)議都受支持。
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真空固化烤箱，防氧化真空系統(tǒng)用于鍵合鍵合材料的真空處理 、ito膜退火，pr膠排膠固化等工藝。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子產(chǎn)品、醫(yī)療衛(wèi)生等行業(yè)，適用于工廠、高等院校、科研等場(chǎng)所。
更新時(shí)間:2025-07-08
secs/gem協(xié)議無塵烘箱，無塵烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；設(shè)備可以使用tcp / ip（使用hsms標(biāo)準(zhǔn)，semi e37）或基于rs-232的協(xié)議與支持gem的主機(jī)進(jìn)行通信通常這兩種協(xié)議都受支持。每臺(tái)設(shè)備都可以使用由gem指定的通用secs-ii消息進(jìn)行監(jiān)控和控制。
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電熱鼓風(fēng)烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料預(yù)處理烘烤；也適用于電子液晶顯示、lcd、cmos、is、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
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