其它產(chǎn)品及廠家
系統(tǒng)由真空腔室（外延室、進樣室）、樣品傳遞機構(gòu)、樣品架、旋轉(zhuǎn)靶臺、真空排氣、真空測量、電器控制、配氣、計算機控制等各部分組成。1、★★外延室：極限真空優(yōu)于：5.0x10-8pa真空漏率小于2.0x10-8pa.l/s
更新時間:2025-07-03
該設備是一款小型磁控濺射鍍膜儀，主要特點是設備體積小，結(jié)構(gòu)簡單緊湊易于操作，對實驗室供電要求低；該系列設備主要部件采用進口或者國內(nèi)最優(yōu)的配置，從而提高設備的穩(wěn)定性；另外自主開發(fā)的智能操作系統(tǒng)在設備的運行重復性及安全性方面得到更好地保障。該設備標配2只φ2英寸永磁靶，一臺500w直流濺射電源（用于濺射金屬導電材料），1臺300w全自動匹配射頻濺射電源（用于
更新時間:2025-07-03
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